真空机组的工作原理是通过真空泵抽出容器内的气体,使容器内压力低于大气压,形成真空。随着空气分子的气压降低,固体或液体表面附着的气体分子、水分子、杂质等都会逐渐从表面散发出来,从而达到去除杂质的目的。
一、组成结构
真空机组是由真空泵、阀门、仪表、过滤器、冷却器、真空箱、泄漏检测控制系统等组成。其中,真空泵是真空机组的核心部件,包括机械泵、根号保持泵、涡旋分子泵等,根据不同的应用场景和需要,选择不同类型的真空泵。
二、应用领域
广泛应用于工业、生物医疗、航空航天等领域。在工业生产中,真空机组常用于半导体加工、光学薄膜沉积、真空干燥、真空灌装等。在生物医疗领域,真空机组可用于血液分离、真空封闭式培养、化学药品冷凝等。在航空航天领域,真空机组是制造合金材料、制造航空器外壳、模拟航天环境等需要的工具。
真空机组的优势在于能够在低压下实现物质表面的去污、除氧处理;消除了杂质、细菌、病毒等因素对表面的污染。同时,由于真空状态下热传递效率降低,因此真空机组也常用于高温材料的沉积和制备等。真空机组在诸多领域的广泛应用将其地位举足轻重,真空泵是其中核心部件,其类型和选择将决定机组的性能和使用范围。